Volgens Tychkov is er bij ASML nog veel te bereiken met de lasertechniek. „De lichtbron zorgde in het verleden voor vertragingen in de ontwikkeling van EUV-technologie. Intussen is de opbrengst van EUV licht in onze machine’s zo’n 250 Watt, genoeg om de productiviteit van de machine verder te verhogen naar 170 wafers (schijven waarop honderden chips worden gevormd, red.) per uur. Lees verder [Bron: ED]