ASML mag er dan in geslaagd zijn technologie te ontwikkelen voor het produceren van nog snellere chips die nog energiezuiniger zijn, dat gaat wel gepaard met een nieuwe uitdaging. Het snel en betrouwbaar meten van de dimensionele parameters van de steeds complexere 3D-structuren die de chips vormen, bezorgt de metrologiewereld grote hoofdbrekens. Maar er is nu een new kid on the block die net zijn eerste, bijzondere in-line metrologiesysteem heeft verscheept. Lees verder [Bron: linkmagazine.nl]